Calibration Standards
Sample with Al and Au line arrays for KPFM and EFM tests
Mounted on 15mm round metal plate
KPFM & EFM Sample
Sample with Al and Au Line Arrays for KPFM and EFM Tests
Product Description
Sample for KPFM and EFM tests featuring:
arrays with alternating Al and Au lines deposited on an oxide covered silicon substrate
line array pitches of 8, 20 and 40 micrometers
line height of approx. 35 nanometers
chip mounted on a 15 millimeter glass disc - metal disc stack
thin copper wires connected to the Al and Au contact pads
Please do not exceed 3V bias between the gold and aluminum regions! We also recommend using a current limiter <10mA to avoid possible damage to the thin conductive films due to contamination-enhanced leakage paths.
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